Ростовая установка РЕДМЕТ-60 МУ

Установка предназначена для выращивания  монокристаллов кремния. 

Состав основных модернизированных  узлов установки:

— Рабочая камера 
— Камера кристалла 
— Шибер  
— Привод верхний 
— Привод нижний 
— Колона 
— Выгружатель кристалла




Технические характеристики

Диаметр слитка, мм	150...250
Загрузка, кг: - тигель 18" (457 мм) - тигель 20" (508 мм)	90 120
Максимальный ход затравки, мм	3000
Максимальный ход тигля, мм	320
Дверь шлюзовой камеры, мм	360х1800
Диаметр горловины рабочей камеры, мм	270
Скорость подъема затравки, мм/мин: - рабочая - ускоренная	0,05-8,0 1-300
Скорость подъема тигля, мм/мин: - рабочая - ускоренная	0,01-4,0 1-50
Вращение затравки (реверсивное), об/мин	1-30
Вращение тигля (реверсивное), об/мин	1-20
Остаточное давление в камере: - предварительное, мм рт. ст.	1х10-3
Рабочее давление инертного газа: - в камере, мм рт. ст	2-30
Расход инертного газа, л/час	500-3000
Расход охлаждающей воды, м3/час	15...20
Площадь занимаемая оборудованием, м	27
Ориентировочная масса, кг	4500

Назад в раздел