Комплект узлов для РЕДМЕТ-65

Предназначен для модернизации установок «Редмет-15» и «Редмет-30» с целью увеличения загрузки тигля, а также размеров и массы выращиваемых монокристаллов кремния.














Технические характеристики

Загрузка тигля до	60 кг
Максимальный диаметр тигля	457 мм
Диаметр выращиваемого кристалла, до	200 мм
Длина выращиваемого кристалла, до	1500 мм
Установленная мощность	160 кВт
Величина осевого перемещения затравки	1600 мм
Скорость перемещения затравки, мм/мин - рабочая - маршевая	0,3-7,0 450
Частота вращения, об/мин - затравки - тигля - величина осевого перемещения тигля	3-30 2-20 250 мм
Скорость перемещения тигля, мм/мин - рабочая - маршевая	0,03-0,78          50

Среда камеры печи (давление в мм ртутного столба)

Вакуум	5х10-2
Инертный газ	5-20
Расход инертного газа	500-2500 л/час
Расход воды	до 10 м3 / час
Габариты печного агрегата	1х1,9х6,5 м
Масса печного агрегата	3,0 т

Назад в раздел